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SO2F2硫酰氟和溴甲烷傳感器

日期：2025-11-24 22:59

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摘要：TCD-SO2F2硫酰氟傳感器和TCD-CH3Br溴甲烷傳感器和是采用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)，通過直接物理方法測量氣體熱導(dǎo)率方式運(yùn)行，不需要任何參考?xì)怏w。溴甲烷和硫酰氟熏蒸氣體傳感器采用獨(dú)特溫度補(bǔ)償?shù)乃惴ǎ稍?40℃~+60℃下保證測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，且波動性很小。傳感器功耗只有0.2W，是傳統(tǒng)的熱導(dǎo)原理傳感器的1/100。TCD-SO2F2和TCD-CH3Br和熏蒸氣體傳感器對被測氣體中濕度進(jìn)行修正，背景噪音在±50ppm，測量精度達(dá)到±1%FS。單只傳感器通過配置，可以分別測量溴甲烷CH3Br和硫酰氟SO2F2氣體，非常方便熏蒸氣體分析儀開發(fā)。 TCD-CH3Br和TCD-SO2F2采用的專有的精密的電路設(shè)計(jì)，極快響應(yīng)時間，T90只有3秒（@1L/分鐘），達(dá)到讀數(shù)穩(wěn)定的時間T100為8秒，從開機(jī)到測量工作結(jié)束大約需要在20分鐘內(nèi)完成，極大地提高了測量效率。

TCD-CH3Br和TCD-SO2F2快速響應(yīng)硫酰氟傳感器和溴甲烷傳感器

-熏蒸氣體傳感器

常用的熏蒸劑主要包括溴甲烷（CH3Br）、硫酰氟（SO2F2）以及磷化氫（PH3）。在出入境檢驗(yàn)檢疫領(lǐng)域，溴甲烷和硫酰氟熏蒸氣體的應(yīng)用尤為廣泛。隨著全球化的加速，為防止?jié)撛诘牧帜緳z疫性害蟲通過木質(zhì)包裝傳入他國，許多國家已開始對木質(zhì)包裝實(shí)施除害處理措施。黛爾特（北京）科技有限公司研發(fā)和生產(chǎn)快速響應(yīng)硫酰氟傳感器和溴甲烷傳感器

TCD-SO2F2硫酰氟傳感器和TCD-CH3Br溴甲烷傳感器是采用MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)，通過直接物理方法測量氣體熱導(dǎo)率方式運(yùn)行，不需要任何參考?xì)怏w。溴甲烷和硫酰氟熏蒸氣體傳感器采用獨(dú)特溫度補(bǔ)償?shù)乃惴ǎ稍?/span>-40℃~+60℃下保證測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，且波動性很小。傳感器功耗只有0.2W，是傳統(tǒng)的熱導(dǎo)原理傳感器的1/100。TCD-SO2F2和TCD-CH3Br熏蒸氣體傳感器對被測氣體中濕度進(jìn)行修正，背景噪音在±50ppm，測量精度達(dá)到±1%FS。單只傳感器通過配置，可以分別測量溴甲烷CH3Br和硫酰氟SO2F2氣體，非常方便熏蒸氣體分析儀開發(fā)。

TCD-CH3Br和TCD-SO2F2采用的專有的精密的電路設(shè)計(jì)，極快響應(yīng)時間，T90只有3秒（@1L/分鐘），達(dá)到讀數(shù)穩(wěn)定的時間T100為8秒，從開機(jī)到測量工作結(jié)束大約需要在20分鐘內(nèi)完成，極大地提高了測量效率。TCD-SO2F2和TCD-CH3Br傳感器的壽命通常為?8-10年?其長壽命得益于專有的電路設(shè)計(jì)、低維護(hù)需求（通常只需零點(diǎn)校準(zhǔn)）以及耐壓（Max. 2.5 bar絕壓）等特性?。相比之下，而紅外傳感器（如NDIR技術(shù)）壽命5年左右，接近紅外傳感器的兩倍?。

黛爾特公司硫酰氟傳感器和溴甲烷傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 超快速響應(yīng)，T90約3秒

l 功耗小，約0.2W

l 溫度補(bǔ)償并輸出，無需加熱恒溫并等待。

l 濕度補(bǔ)償并輸出，濕度對測量影響小。

l 流量補(bǔ)償熱導(dǎo)芯片設(shè)計(jì)，流量對測量影響小

l 背景噪音小，約±50ppm

l 同時測量熏蒸氣體(CH3Br和SO2F2)濃度、相對濕度（RH）和溫度三個參數(shù)

l 長期漂移小，通常只需零點(diǎn)校準(zhǔn)

l 耐壓(Max.)：2.5 bar絕壓

l 8-10年長壽命，低維護(hù)

黛爾特公司SO2F2傳感器和CH3Br傳感器技術(shù)參數(shù)

1、一般特性

測量參數(shù)	CH3Br溴甲烷和SO2F2硫酰氟熏蒸氣體、相對濕度RH和溫度T
測量原理	MEMS熱導(dǎo)式
測量范圍	CH3Br：0-160 g/m³ SO2F2：0-160 g/m³ 濕度：0-100%RH 溫度：-50~+90℃
尺寸	75 (長)x 36(寬)x 25 mm(高)
氣路連接	4 x 6 mm
耐壓	2.5 bar絕壓
安裝	4個M3螺釘
重量	100 g

2、技術(shù)參數(shù)

線性誤差	CH3Br：±1%FS SO2F2：±1%FS RH: ±2% RH T: ±1.5℃
流量	0.1~1.0L/min,校準(zhǔn)流量 0.25L/min
響應(yīng)時間	T90：3s (@1000mL/min) 讀數(shù)穩(wěn)定時間T100：8s (@1000mL/min)
重復(fù)性（相對標(biāo)準(zhǔn)偏差）	±0.5%FS
Min.檢出限	0.03%FS
分辨率	0.01 g/m³
長期穩(wěn)定性（零點(diǎn)）	≤±1%FS/年
長期穩(wěn)定性（量程）	≤±1%FS/年

3、電氣特性

供電電壓	5VDC ±5%
工作電流	0.2 W
輸出信號	0.5~2.5VDC和5V TTL
啟動時間	0.3秒，無需加熱恒溫等待
數(shù)據(jù)更新速率	2 Hz
平均值濾波	可設(shè)置，off,2,4,6,8,16

4、環(huán)境條件：

工作濕度	0%~95%RH (無結(jié)露)
補(bǔ)償溫度	-40~+85℃
儲存溫度	-40~+85℃

*：以上典型值是基于（101.3kPa,25℃，1.0L/min流量下的無結(jié)露的潔凈氣體）環(huán)境下測得。

5、背景噪音曲線：

背景噪音小，約±50ppm

6、溫度和濕度影響曲線：

在85℃+20%RH(130000PPM H2O濕度下)熏蒸氣體的變化為-0.03% (-3000PPM)左右

黛爾特公司硫酰氟傳感器和溴甲烷傳感器外形尺寸

熱導(dǎo)氣體傳感器工作原理

黛爾特公司TCD-5880是一款采用硅技術(shù)制造的熱導(dǎo)率傳感器測量芯片。傳感器芯片由2.50 x 3.33 mm、0.3 mm厚的硅邊緣組成，其中形成了氮化硅膜。中心是一個加熱器，有一個熱電堆傳感器元件測量其溫度。TCD-5880熱導(dǎo)率傳感器敏感芯片芯片測量環(huán)境和膜中心之間的熱導(dǎo)率，這取決于幾個參數(shù)，如壓力、氣體類型和膜上的材料沉積。這種對物理參數(shù)的依賴性使熱導(dǎo)率測量芯片能夠測量絕對壓力、氣體類型和氣體混合物成分等量。

黛爾特公司TCD-5880熱導(dǎo)率氣體傳感器

TCD-5880-P2RW的標(biāo)準(zhǔn)外殼是一個TO-5 10針接頭，帶有一個直徑為5mm的帶過濾器的蓋子，其他外殼可應(yīng)要求提供。 XEN-TCG3880Pt在芯片旁邊的TO-5外殼上有一個B級Pt100鉑溫度傳感器。熱導(dǎo)率傳感器芯片測量膜中心熱電堆熱結(jié)和芯片厚邊緣冷結(jié)之間的熱阻。這是通過使用加熱器電阻器Rheat加熱膜的中心來實(shí)現(xiàn)的。由此產(chǎn)生的中心溫度升高由熱電堆測量。實(shí)際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這受到膜熱阻、環(huán)境氣體熱阻、任何存在的氣體流量和（通常可以忽略不計(jì)）發(fā)射輻射等因素的影響。

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